【その仕様(抜粋)】
<冷却チャンバ/昇降機構>
■SUS304円筒型 一部水冷ジャケット付き
■到達圧力:E-3Pa以下
■ガス導入:手動ダイアフラムバルブ
■試料交換機構:サンプル交換のために手動スライドステージ
■冷却時遮断バルブ:JISフランジ手動ゲートバルブ
■試料交換時昇降機構:台形ネジ式手動ハンドル
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<冷却チャンバ/昇降機構>
■SUS304円筒型 一部水冷ジャケット付き
■到達圧力:E-3Pa以下
■ガス導入:手動ダイアフラムバルブ
■試料交換機構:サンプル交換のために手動スライドステージ
■冷却時遮断バルブ:JISフランジ手動ゲートバルブ
■試料交換時昇降機構:台形ネジ式手動ハンドル
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。