非磁性加熱源を採用している為、磁場中での高温熱処理ができ、熱処理後
に雰囲気をキープしたまま冷却チャンバに移動し、ガスフローすること
によりガス冷却することが可能。
また、冷却水循環装置、各種インターロック付きで、オプションとして
外径50及び60用熱処理チャンバとの交換取付ができます。
【仕様(抜粋)】
<熱処理チャンバ/加熱機構>
■外径40×長さ236mm 水冷式二重SUS316L円筒型
■到達圧力:E-3Pa以下
■真空排気/ガス導入:SWG1/4ベローズバルブ
■加熱方式:カーボン円筒ヒータ
■サンプルホルダー:φ15×φ12×50L 石英坩堝
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基本情報
【その仕様(抜粋)】
<冷却チャンバ/昇降機構>
■SUS304円筒型 一部水冷ジャケット付き
■到達圧力:E-3Pa以下
■ガス導入:手動ダイアフラムバルブ
■試料交換機構:サンプル交換のために手動スライドステージ
■冷却時遮断バルブ:JISフランジ手動ゲートバルブ
■試料交換時昇降機構:台形ネジ式手動ハンドル
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