株式会社アイテス

顕微EL/PLイメージング装置 PVX1000+POPLI-μ

最終更新日: 2019-11-07 14:03:37.0
太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

PVX1000+POPLI-μは、太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。PERCであれば、PL強度で個々のLocal-BSFの評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージが評価可能です。

また、直流電源を用いたモジュールのEL観測により欠陥箇所の位置特定が可能です。

基本情報

製品特長
1.シリコンウェハ(6インチ角以下)
2.超高感度冷却CCDカメラ(100万画素、-70℃)
3.平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能
4.高機能画像演算ソフト搭載
5.専用の高遮蔽暗箱一体型

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 PVX1000+POPLI-μ
用途/実績例 お客様サンプルを用いたデモを実施可能です。
個別の要望に応じたカスタマイズも承ります。
お気軽にこちらまでお問い合わせ下さい。

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