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【TOF-SIMSの事例】Liの分析

最終更新日: 2021-10-19 11:13:44.0
感度よく検出することが可能!TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介

TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介します。

汚染や異物の分析には、SEM-EDXが利用されていますが、
windowless EDXを除く一般的なEDXではLiの検出は困難です。

一方、TOF-SIMSはLiを感度よく検出することができます。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【概要】
■銅板の染みの分析
■SEM-EDX分析→Li検出困難
■TOF-SIMS分析→Li検出可能

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