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関連情報
・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
質量の分離が出来ます。
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【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
シミュレーションにて確認
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下層のNiが検出されている
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シミュレーションにて確認
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【EDX(EDS)の特長】
■微小領域の元素分析
■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
■元素マッピング
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■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
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株式会社アイテス