株式会社アイテス

【TOF-SIMSの事例】Liの分析

最終更新日: 2023-01-12 17:18:20.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSによる表面分析 製品画像
・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
 質量の分離が出来ます。
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度 製品画像
【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
 下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
 シミュレーションにて確認

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表面分析ガイド
表面分析ガイド 製品画像
【EDX(EDS)の特長】
■微小領域の元素分析
■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
■元素マッピング

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイナミックSIMS
ダイナミックSIMS 製品画像
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