株式会社アイテス

TOF-SIMS分析

最終更新日: 2023-01-12 17:18:58.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

TOF-SIMSは、軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析が可能です。
TOF-SIMS(Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)
■TOF-SIMSの原理と光学系
 TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し、励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。質量の大きなイオン程、検出器に到達する時間が長くなり、質量の分離が出来ます。
■TOF-SIMS 3つの分析モード
 高分解能スペクトル/深さ方向分析/面分析
・緑顔料の高分解能質量スペクトル
・Siウェファー表面汚染の面分析
・薄膜a-Si太陽電池の深さ方向分析

関連情報

【成分分析】GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計
【成分分析】GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計 製品画像
【分析対象物の例】
■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
・分解温度での発生ガス分析から、ポリマー種を推定(パイロライザー)
■液晶
・サンプル間での比較により、微量不純物を定性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製品の信頼性トータル・ソリューション
半導体製品の信頼性トータル・ソリューション 製品画像
半導体製品の一連の工程のサンプル作製から信頼性評価試験、分析故障解析までトータルのソリューションを提供します。必要なサービスを必要なだけ、ご利用いただけます。

トータルソリューションとは、半導体製品に関わる部品・装置・材料の開発評価の困難(評価試料が準備できない/評価方法が不明、事前データが無い等)試料作製から、評価・解析まで御支援します。


【試料作製】
 ●ウェハ工程
  ■汎用TEGの手配
  ■ダイシング
  ■チップソート
  ■外観検査
  ■梱包(チップトレイ・エンボステーピング)
 ●パッケージング工程
  ■ダイボンディング
  ■ワイヤボンディング
  ■フリップチップ実装
  ■バンプ接合
  ■パッケージ組立
品質技術トータルソリューション
品質技術トータルソリューション 製品画像
電子部品の企画・設計・開発段階から、量産、出荷後に至るまで、あらゆるフェーズで発生する品質問題に、長く培われた技術と経験をもとにスピーディーで的確なソリューションを提供します。
イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析
イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析 製品画像
■特徴

1.測定方法
  イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示

2.測定領域
  透過法/反射法 175um、ATR法/35um

3.空間分解能(ピクセルサイズ)
  透過法/反射法 5.5um、ATR法 1.1um
微小異物分析のためのサンプリング技術
微小異物分析のためのサンプリング技術 製品画像
■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
 新規導入されたマイクロサンプリングツールは
 顕微鏡下でマニュピレータを用い
 正確に狙った異物を捕らえます

■5umに満たない微小異物でも
 多数集めてFT-IRにて測定することが可能です
TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSによる表面分析 製品画像
・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
 質量の分離が出来ます。
液晶ディスプレイの信頼性トータル・ソリューション
液晶ディスプレイの信頼性トータル・ソリューション 製品画像
■LCD製品の信頼性試験
 豊富な試験メニュー
 試験前後の目視検査
 によりお客様の負担を軽減

■LCD製品の不具合解析
 故障モード、関連領域、分析・解析対象、主な手法を独自で関連付け
 迅速・的確な解析を実現します
【資料】液晶材料とその分析技術
【資料】液晶材料とその分析技術 製品画像
【その他の掲載内容】
■LCP分子構造解説(一例)
■アイテス保有のGC-MS装置
■低分子液晶
■低分子液晶構造解説(一例)
■GC-MS分析による低分子液晶(for LCD)のTICデータ、および検出物質
■液晶構造機能解説

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『化学分析の流れ』
『化学分析の流れ』 製品画像
当社は半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える
様々なサービスを提供しております。

製品開発、不良・故障解析、信頼性評価などでお悩みの方はぜひご相談ください。
表面分析ガイド
表面分析ガイド 製品画像
【EDX(EDS)の特長】
■微小領域の元素分析
■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
■元素マッピング

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ダイナミックSIMS
ダイナミックSIMS 製品画像
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