最終更新日:
2022-06-27 10:11:49.0
ステージ駆動による広域イメージマップ！マジックの分布を可視化できた測定例をご紹介
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な
TOF-SIMSの事例をご紹介します。
金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域（30mm×30mm）の
イメージマッピング測定を実施。
光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な
2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を
可視化することができます。
この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから
詳細な解析結果を得られた事例もございます。
【概要】
■通常測定（ビームスキャン測定）は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象
■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能
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