『レガシー（Legacy）』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案

「Brooks MFCの系譜図」

製品ニュース掲載開始日: 2021-04-05 00:00:00.0

ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。

お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。

「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。

関連製品情報

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。その結果、収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサなど ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

蒸気供給モジュール『VDM300』

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための　ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。【特長】 ■正確なマスフロー測定 ■正確な密度測定 ■低質量流量センサパイプによる100%の流体量（バイパスなし） ■独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能 ■幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリ」のメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフローコントローラ/メータです。さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

エラストマシールマスフローメータ『5700シリーズ』

ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です！

『5700シリーズ』は、パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られたエラストマシールマスフローメータです。タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要でしたら、当製品をお選びください。【特長】 ■測定専用 ■幅広い流量 ■ステンレス製接ガス部材質 ■片面電源入力 ■0.5 V 出力信号 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、当製品は実流量を高速で追従させることができます。【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で　セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ/メータ『5850E/iシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

『5850E/iシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータです。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。【特長】 ■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） ■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm） ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガラス管面積流量計　ショーレートモデル 1350G, 1355G

実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする汎用オプションをご用意！

『ショーレートモデル 1350G, 1355G』は、様々な種類の気体や液体用に適したガラス管面積流量計です。基本構成は、316SS製エンドブロックやアダプタ、バルブと共にホウケイ酸ガラス製テーパ管が一つのアルミニウム製フレームに組み込まれてたものです。それに加えて様々なアプリケーションに対して適切な構成を提供するため、それ以外の材質やフローコントローラもオプションとして選択することができます。【特長】 ■メータを取り外すことなくテーパ管の交換が可能 ■透明ポリカーボネートカバーは、読み取りを容易にする拡大レンズ形状 ■頑丈なフレーム構造 ■位置決めブロックにより、テーパ管取り付け時のセンタリングが容易 ■テーパ管とフロートの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガラス管面積式流量計『Model GT1600』

ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計

『Model GT1600』は、安全なご使用のために選択した高品質な材料でできており、室内・屋外問わず使用可能なガラス管面積式流量計です。目盛窓を360度回転可能で、好みの方向から視認できます。また、GT1000xxシリーズ, GT1300シリーズ Full-View製品の置換えに対応しております。【特長】 ■SUS316 ステンレス製フレーム ■透明ポリカーボネートカバー ■316/316L 二重認証ステンレス製継手 ■継手・接続方向は水平・垂直いずれも可能 ■簡単な内部メンテナンス　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフローコントローラ/メータです。高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

金属管面積式流量計『MT3809Gシリーズ』

各種気体、液体および蒸気への適用に好適！幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応したメータです

『MT3809Gシリーズ』は、ローカルオペレーターの操作用としてデジタル LCDディスプレイを備え、合計量表示やアラーム信号など価値の高いプロセス出力を表示する金属管面積式流量計です。カバーを取り外さずにユーザー側でパラメータを変更可能。危険区域でも変更を加えることができます。また、電源が利用できない場合でも、アナログまたはデジタルインターフェースで制御システムと通信が可能です。【特長】 ■幅広い流量レンジに対応 - 微小流量から大流量までをカバー ■定格温度 -198°C～420°C ■圧力定格：最大6,000 psi（標準製品）から最大20,000 psi（カスタムモデル）まで ■SIL2の要求に適合した大/小流量アラーム機能 ■過酷な危険場所でも使えるATEX IIC/Class 1 Div 1 に適合した　316 ステンレス製耐圧防爆ハウジング　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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