日本ファインセラミックス株式会社

SiC/Al複合材料 φ450円盤治具(18インチ)

最終更新日: 2024-03-29 08:10:28.0

φ450(18インチ)治具 Siウェハと同等の比重、ヤング率! 低価格!

半導体φ450mm(18インチ)ウェハ対応装置向けとして
φ450(18インチ)治具を準備致しました。
通常のSiウェハはまだまだ高額、破損リスクもあるので
なかなか自由に使えないとお困りの方はお問い合わせください。

搬送テスト用・吸着テスト用の治具として、複合材料をお試しください。

SA301
・Siウェハに近い特性
  比重 2.8  ヤング率 125GPa
・φ450mm 最小厚み1mm 反り量0.1mm~1.5mmでご提供可能です。

※鋳物インゴットより切り出しますので多少の巣は存在します。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・半導体φ450対応設備の搬送テスト用・吸着テスト用

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