株式会社日本レーザー

原子間力顕微鏡

最終更新日: 2024-04-19 15:46:19.0
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応

導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法(KFM)、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法(sMIM)などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。

■サンプルサイズ :最大100 mm角
■ステージ移動距離 :100 mm
■XY走査範囲 : 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%)
■Z走査範囲 : 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%)
■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms
■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms
■ノイズレベル :Typ : <0.01 mV RMS

基本情報

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型番・ブランド名 Nano Observer AFM XL
用途/実績例 ● GaAs層
● 電磁体構造
● SRAM

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