株式会社日本レーザー

小型 高性能 飛行時間型質量分析計

最終更新日: 2024-02-26 17:39:00.0
小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。

◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ

小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程(CVD、PVD、ALD)の研究開発にご使用いただけます。

IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ取得が簡素化を実現。ソフトウェア開発キットにより、世界中のお客様のプロセス制御アプリケーションで測定データストリームを統合が可能です。

基本情報

※詳細はお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 IonTamerシリーズ
用途/実績例 ●半導体ウェハ製造 プロセス制御
●有機LEDディスプレイ
●環境科学
●産業向け真空コーティング

ラインナップ

型番 概要
IonTamerシリーズ

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