日本NER株式会社

シリコン(Si)スラッジ乾燥品

最終更新日: 2023-02-16 18:13:32.0

  • カタログ

シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジの乾燥品

シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジを、含水率20%程度までに乾燥させたSiスラッジの2次凝集品です。
ボールミル等で、簡単に解砕できます。
高純度シリコンウエハーの切削物であるため、元々、不純物濃度は極めて低く、切削工程中で金属不純物の混入が有りますが、Si純度は99%以上(C/Oを除く)を維持しています。

<材料>
  シリコンウエハー切削工程から排出されるシリコンスラッジ

<化学成分:XRF測定:代表値>

 Si(%) >99.0

  Fe(%)=0.05 
  Al (%)=0.50
  Ca(%)=0.03
  Ni (%)=0.03
  Cu (%)=0.004
 
  C(%) < 3.0
O(%) < 7.0
 
<粒子径>

  D50=2.0-3.0μm
  
*上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。
*保証スペックについては、契約にて定めます。
価格帯 ~ 1万円
納期 ~ 1ヶ月
※ 数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途/実績例  ・ファインセラミックス出発原料
 ・リチウムイオン電池負極材料


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