シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジの乾燥品
シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジを、含水率20%程度までに乾燥させたSiスラッジの2次凝集品です。
ボールミル等で、簡単に解砕できます。
高純度シリコンウエハーの切削物であるため、元々、不純物濃度は極めて低く、切削工程中で金属不純物の混入が有りますが、Si純度は99%以上(C/Oを除く)を維持しています。
<材料>
シリコンウエハー切削工程から排出されるシリコンスラッジ
<化学成分:XRF測定:代表値>
Si(%) >99.0
Fe(%)=0.05
Al (%)=0.50
Ca(%)=0.03
Ni (%)=0.03
Cu (%)=0.004
C(%) < 3.0
O(%) < 7.0
<粒子径>
D50=2.0-3.0μm
*上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。
*保証スペックについては、契約にて定めます。
シリコンウエハー切削工程から排出されるシリコンスラッジ
<化学成分:XRF測定:代表値>
Si(%) >99.0
Fe(%)=0.05
Al (%)=0.50
Ca(%)=0.03
Ni (%)=0.03
Cu (%)=0.004
C(%) < 3.0
O(%) < 7.0
<粒子径>
D50=2.0-3.0μm
*上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。
*保証スペックについては、契約にて定めます。
価格帯 | ~ 1万円 |
---|---|
納期 |
~ 1ヶ月 ※ 数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 |
・ファインセラミックス出発原料 ・リチウムイオン電池負極材料 |
関連ダウンロード
シリコン(Si)スラッジ乾燥品
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
日本NER株式会社