【仕様(抜粋)】
■外形寸法(W×D×H):940×1、276×1、530mm
■重量:1、000kg
■分解能
・標準:15μm
・オプション:10μm
■FOV(好適条件)
・2D:0.20sec/FOV
・3D:0.41sec/FOV
■搬入可能サイズ:シングルモード 50×50~410×300mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■外形寸法(W×D×H):940×1、276×1、530mm
■重量:1、000kg
■分解能
・標準:15μm
・オプション:10μm
■FOV(好適条件)
・2D:0.20sec/FOV
・3D:0.41sec/FOV
■搬入可能サイズ:シングルモード 50×50~410×300mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。