最終更新日:
2024-04-23 13:53:47.0
0.1nm~1nmと原子レベルの観察の他、光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像取得も可能!
当社の試験装置「マルチアングルレンズ VHX-D510」をご紹介します。
試料表面に電子線を照射し、反射した電子線を像として映し出し、
観察する装置。試料室(チャンバー)内を真空状態にし、
超深度レンズ(電子ビームの照射)により試料を撮影します。
光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像を
得ることが可能です。
【装置性能】
■拡大倍率:30倍~5000倍
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基本情報
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関西電力送配電株式会社 技術試験センター