【その他の特長】
<自動弁>
■円筒縦型の新型アクチュエーターは、最小クラスのラインピッチに対応するほか、設置後の方向性を心配する必要がない
■特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現
■更にボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、信頼性を向上
■操作空気圧は0.4~0.7MPa(G)の下限においても安定した開閉操作を確保
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<自動弁>
■円筒縦型の新型アクチュエーターは、最小クラスのラインピッチに対応するほか、設置後の方向性を心配する必要がない
■特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現
■更にボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、信頼性を向上
■操作空気圧は0.4~0.7MPa(G)の下限においても安定した開閉操作を確保
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
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