株式会社キッツエスシーティー

高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

最終更新日: 2023-09-05 11:04:31.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能!お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト!
高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下(最高200℃)で使用可能なダイヤフラムバルブです。
【製品材質】
■ボディ:SUS316L、SUS316LE(二重溶解材)
■シート:PFA
■ダイヤフラム:コバルト合金

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』
高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』 製品画像
【お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト】
<自動弁>
■ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン
・アクチュエータのエアー抜き穴を上面に配置したことで、バルブ側面にジャケットヒーターを
 密着させることが可能となり熱ロスを最小限に抑える
<手動弁>
■開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン
・開閉操作部のハンドルや開閉表示板を耐熱仕様にしたことで、材料容器等洗浄時の脱水工程で
 ハンドル部を外す手間を必要とせずベイクアウト可能
・気化供給システム等恒温槽を使用した場合も、のぞき窓から開閉状態の確認が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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