株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

最終更新日: 2023-09-04 16:25:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ!
L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』は、大気から真空に排気、或いは真空から大気に戻す際に起こる急激な圧力変動をメインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力コントロールします。
【仕様(抜粋)】
■サイズ:
IVB 15A、25A、40A、50A
IVBL 50A、65A、80A、100A
IVBH 25A、40A、50A、80A、100A
■ボディ材質:SUS304
■ベローズ材質:SUS316L
■ヒータ設定最高温度(IVBH):外部ヒータ 150℃、内部ヒータ 180℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』
L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』 製品画像
【その他の特長】
■スロー排気側のコンダクタンスを任意に調整できる(VXタイプ)
■バイパスバルブは耐熱仕様を選定する事により「IVBH」ホットシリーズとの
 併用にて、同時に加熱することが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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