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真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

最終更新日: 2023-09-05 13:52:44.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ!
真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』は、シンプルな構造による、コンパクト化と軽量化を特長とし、バルブ取り付け作業が容易な遮断弁です。
【主な仕様(一部)】
■サイズ:25A、50A、80A、100A
■オリフィス(mm):φ33、φ51.3、φ78、φ100
■使用圧力:1X10^-6Pa(abs)~2X10^5Pa(abs)[0.1MPa(G)]
■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧)
■使用流体温度範囲:-15~100℃
■作動耐久回数:大気状態で10万回実績

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』
真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』 製品画像
【主な仕様(一部)】
■サイズ:25A、50A、80A、100A
■オリフィス(mm):φ33、φ51.3、φ78、φ100
■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧)
■使用流体温度範囲:-15~100℃
■作動耐久回数:大気状態で10万回実績

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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