『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる
超音波モータ(ピエゾモータ)です。
速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な
摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。
単体エレメントから8つのエレメントを重ね合わせたモータまで
各種ラインアップ。真空仕様品もございます。
【特長】
■10nmのステップ分解能
■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
■制限のない可動範囲と高い応答性
■4~32Nの抜群の駆動力
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。
こちらも、お気軽にお問合せください。
基本情報
【その他の特長】
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■医療機器、光学機器、半導体製造装置 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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