株式会社工苑

超音波モータ『HRシリーズ』

最終更新日: 2024-04-23 09:27:39.0
高分解能、高速応答性、省スペース!制限のない可動範囲と高い応答性!

『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる
超音波モータ(ピエゾモータ)です。

速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な
摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。

単体エレメントから8つのエレメントを重ね合わせたモータまで
各種ラインアップ。真空仕様品もございます。

【特長】
■10nmのステップ分解能
■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
■制限のない可動範囲と高い応答性
■4~32Nの抜群の駆動力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。
こちらも、お気軽にお問合せください。

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基本情報

【その他の特長】
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■医療機器、光学機器、半導体製造装置 など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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