FRロータリーステージ(FRS060)は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。
FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
基本情報
〇機械的特性(例:FRS060360)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR2モータ
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:581g
可動質量:268g
可動慣性質量:0.102gr-m²
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで
〇性能仕様
移動範囲(mm):nx 360
エンコーダー分解能:標準 5arc sec.(オプション 0.5arc sec.)
双方向繰り返し精度:標準 50arc sec.(オプション 5arc sec.)
精度 標準: 10arc sec.(オプション 5arc sec.)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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