上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!【図書カード1000円分プレゼントキャンペーン中】
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。
高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!
【その他の特長】
■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
<<<図書カード プレゼントキャンペーン実施中!>>>
簡単なアンケートにお答え頂くと、
先着50名様に図書カード1000円分を差し上げます!
※下記「お問合せ」からお申込み下さい!(締切:2016年3月31日)
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。
高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!
【その他の特長】
■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
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※下記「お問合せ」からお申込み下さい!(締切:2016年3月31日)
関連情報
ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
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【主な仕様】(型式:LE-W1)
検出方式 :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式
検出欠陥 :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等
対象素材 :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等
対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相談)
検査時間 :約90秒/枚(4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む)
レーザー波長:405nm
検査ピッチ :5~30μm
結果出力 :マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類
機器寸法 :W 1800×D 990×H 1490(mm)
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
お問い合わせ
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株式会社クボタ計装