ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現
■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！
・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。
・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。
・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。
・自動で欠陥弁別したい。
■装置の特長
・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。
・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。
・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。
・AI機能も実装しており、学習を進めることで
欠陥弁別精度向上が可能です。
【検出可能な最小欠陥】
30um
【対象形状】
円形：直径200mm以下
矩形：140mm□以下
※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。
【検査時間】
100PPH
30um
【対象形状】
円形：直径200mm以下
矩形：140mm□以下
※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。
【検査時間】
100PPH
| 価格情報 | 詳しくはお問い合わせください |
|---|---|
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| 型番・ブランド名 | K-VI-G100 |
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株式会社クボタ計装
