上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2020/12/01
今後の装置の進化に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「多様な真空気密隔壁での接続ニーズに応えるご提案」をいたします。
レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。
高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。
He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、He漏れ率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。
主なアプリケーション分野：
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー
■ 測長SEM他検査測定装置
高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいております。
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レモジャパン株式会社
コネクタシリーズ
各用途・特長別解説
アプリケーション事例
