イオンクロマトグラフで中和とマトリックス除去を伴う濃縮工程を自動化して半導体製造で使用する高純度水酸化アンモニウムの不純物を測定
半導体産業では、超高純度試薬が必要とされます。イオン性不純物が含まれていると製品の品質を損なう可能性があります。
このアプリケーションでは、28%の半導体グレードの水酸化アンモニウム溶液中の陰イオン不純物の測定結果を示します。
マトリックスの影響を避けるために、インライン中和とマトリックス除去を伴う濃縮テクニックを用いて測定を行ないました。
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【イオンクロマトグラフィー資料】水酸化アンモニウムの不純物測定
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