ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング！
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。
試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法（NIRS）によるインライン分析が有効です。
オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
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| 型番・ブランド名 | インラインNIR分析計 |
| 用途／実績例 | 冊子は無料ダウンロードできます。 |
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【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理
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