最終更新日:
2021-08-18 16:15:38.0
腐食性雰囲気の高温ウェハプロセスなどでグラファイトを保護するメタルカーバイドコーティング技術！部材の寿命の延長効果を発揮
『メタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。
グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。
他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。
【特長】
■均一な被膜による高い寸法精度
■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性
■導電性
■優れた耐摩耗性
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【その他特長】
■PBN(熱分解窒化ホウ素)コーティング
ほとんどの溶融金属、酸、高温アンモニアなどの非常に腐食性の強い雰囲気から
グラファイトを保護。強い異方性を示す電気絶縁体。
■PG(熱分解黒鉛)コーティング
グラファイトの気密性を向上させるコーティング。PBNルツボやPBNヒータ等に
応用。
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