最終更新日:
2021-08-18 16:29:50.0
SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。
グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。
他にも熱分解窒化ホウ素(PBN)コーティングや熱分解黒鉛(PG)コーティング等も行っています。
【特長】
■均一な被膜による高い寸法精度
■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性
■導電性
■優れた耐摩耗性
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
- 熱対策製品≫≫
- 放熱フィラー
- ヒートシンク
- 半導体製造用部品≫≫
- ヒータ/静電チャック
- るつぼ
- ボート
- サセプタ
- すべての製品・サービス