【分析事例】LSI・メモリ カタログ一覧

【分析事例】Si表面のH終端の解析

処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較

最終更新日： 2016-08-24 14:33:58.0技術資料・事例集

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【分析事例】最表面シラノール基の評価_C0377

TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

最終更新日： 2023-04-07 17:35:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

最終更新日： 2016-08-24 14:30:45.0技術資料・事例集

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【分析事例】極浅注入プロファイルの評価

極浅ドーパント分布の高精度分析

最終更新日： 2016-08-25 14:26:03.0技術資料・事例集

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【分析事例】素子分離領域の歪解析

NBD： Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析

最終更新日： 2016-10-31 12:07:05.0技術資料・事例集

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【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

最終更新日： 2016-08-25 14:24:02.0技術資料・事例集

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【分析事例】SiON膜の評価

膜厚1nm以下のSiON薄膜中N量を高精度に評価可能です

最終更新日： 2016-02-15 09:16:51.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO　薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

最終更新日： 2016-08-25 09:48:08.0技術資料・事例集

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【分析事例】極浅ドーパント分布の高精度分析

ドーパント分布の高精度分析

最終更新日： 2016-08-25 14:28:16.0技術資料・事例集

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【分析事例】室内雰囲気中の腐食成分分析

インピンジャー捕集法による大気中イオン成分の分析が可能です

最終更新日： 2016-08-22 10:01:39.0技術資料・事例集

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【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

最終更新日： 2016-07-29 13:36:15.0技術資料・事例集

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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です

最終更新日： 2016-04-19 11:28:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】SiGe中不純物の高精度定量評価

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2016-04-19 11:08:24.0技術資料・事例集

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【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

最終更新日： 2016-03-17 13:44:06.0技術資料・事例集

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【分析事例】溶液中の窒素成分の評価

無機窒素を形態別に分析可能です

最終更新日： 2016-03-16 15:09:40.0技術資料・事例集

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【分析事例】揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2016-03-16 15:02:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

最終更新日： 2016-10-31 11:29:57.0

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極点測定_B0213

XRD：X線回折法

最終更新日： 2023-03-29 17:14:19.0技術資料・事例集

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【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察_C0390

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

最終更新日： 2023-04-07 18:06:52.0技術資料・事例集

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【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

低ダメージで表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

最終更新日： 2022-10-13 09:57:44.0技術資料・事例集

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【分析事例】低温フォトルミネッセンス測定の注意事項

PL：フォトルミネッセンス法

最終更新日： 2016-03-15 14:29:24.0技術資料・事例集

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【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価_C0373

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

最終更新日： 2023-04-07 16:37:11.0技術資料・事例集

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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い_C0372

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

最終更新日： 2023-04-07 16:10:55.0技術資料・事例集

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【分析事例】Si中不純物の超高感度測定

感度を高めてpptレベルの濃度分布を評価します

最終更新日： 2016-03-15 13:07:46.0技術資料・事例集

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【分析事例】IC法による溶液中の有機酸の分析

溶液中の有機酸の定性・定量分析が可能です

最終更新日： 2016-08-25 11:01:35.0技術資料・事例集

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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です

最終更新日： 2016-03-14 14:43:16.0技術資料・事例集

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【分析事例】RAE検出器を用いた大口径イメージングSIMS

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2016-03-14 11:42:55.0技術資料・事例集

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【分析事例】SRAの深さ換算について

SRA：広がり抵抗測定法

最終更新日： 2023-03-29 16:54:40.0技術資料・事例集

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【分析事例】定量計算における妨害ピーク除去処理

XPS：Ｘ線光電子分光法

最終更新日： 2016-03-11 13:52:23.0技術資料・事例集

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【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析

EBSD：電子後方散乱回折法

最終更新日： 2016-03-11 13:43:27.0技術資料・事例集

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