日精株式会社

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量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

最終更新日: 2020-12-11 15:40:54.0
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

【特長】
■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減
■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上)

※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

基本情報

【仕様】
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能

価格帯 5000万円 ~ 1億円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TWPシリーズ
用途/実績例 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等

お問い合わせ

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