最終更新日:
2024-07-31 15:53:45.0
デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能
【特徴】
●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。
●実績が示す万全の安全対策
●オールステンレスにより破損の危険性を排除
●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減
●お客様のワークに応じた仕様変更も可能
※詳しくはPDFダウンロードまたはお問い合わせください
基本情報
装置仕様:IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコン、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法:幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 豊富な納入実績 ガス監視やN2 パージ等の保安システム、万一の際の 自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 |
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