【一般仕様】
■外形寸法:W161 × D17 × H106.5 [mm] (突起部分等を除く)
■重量:2.0 kg 以下
■導波管規格:WRJ-2
■接続フランジ規格:BRJ-2
■窓材:石英(5t )
■枠材:アルミ
■シール方式:シリコンOリング
使用条件:周囲温度0~40℃ 湿度35~85%
【電気仕様】
■周波数範囲:2455MHz±20MHz
■通過耐電力:6000W (CW) (整合負荷時) (下記【注意事項】を参照願います)
■気密条件:真空度1Pa以下 (下記【注意事項】を参照願います)
■入力VSWR:1.33以下
【注意事項】
・導波管としての通過耐電力は6000Wですが、真空環境下に対してマイクロ波を投入すると窓材の減圧側でプラズマが点灯してしまい、マイクロ波の導入を阻害したり、発熱によるトラブル(Oリング焼損など)を引き起こす可能性があります。
・プラズマが点灯する条件は「投入するマイクロ波の出力値」と「負荷側の真空度」との兼ね合いで決まりますので、ユーザー責にて条件決定願います。
■外形寸法:W161 × D17 × H106.5 [mm] (突起部分等を除く)
■重量:2.0 kg 以下
■導波管規格:WRJ-2
■接続フランジ規格:BRJ-2
■窓材:石英(5t )
■枠材:アルミ
■シール方式:シリコンOリング
使用条件:周囲温度0~40℃ 湿度35~85%
【電気仕様】
■周波数範囲:2455MHz±20MHz
■通過耐電力:6000W (CW) (整合負荷時) (下記【注意事項】を参照願います)
■気密条件:真空度1Pa以下 (下記【注意事項】を参照願います)
■入力VSWR:1.33以下
【注意事項】
・導波管としての通過耐電力は6000Wですが、真空環境下に対してマイクロ波を投入すると窓材の減圧側でプラズマが点灯してしまい、マイクロ波の導入を阻害したり、発熱によるトラブル(Oリング焼損など)を引き起こす可能性があります。
・プラズマが点灯する条件は「投入するマイクロ波の出力値」と「負荷側の真空度」との兼ね合いで決まりますので、ユーザー責にて条件決定願います。