最終更新日:
2024-04-10 10:45:26.0
【RoHS対応】水冷式インバータ電源のプラズマ励起用マイクロ波発振器!プラズマ励起用で、低出力リップル!
『MPS-30W-DC』は水冷式インバータ電源のプラズマ励起用マイクロ波発振器です。
プラズマ励起用で、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレートタイプで、RoHS対応です。
【特長】
■水冷式インバータ電源
■プラズマ励起用低出力リップル
■電源部と発振部はセパレートタイプ
※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
≪電源部 MPS-30W-DC≫
■入力電源:三相190V~220V 50/60Hz
■入力容量:7KVA以下
■出力安定度:190V~220Vの入力変動に対し、±2%以内(3kW 出力時)
≪発振部 MG-30CJ-W / MG-30CT-W≫
■発振周波数:2455MHz±20MHz
■出力電力定格:500W~3000W 連続可変 ※マッチング負荷
■冷却方式:水冷(4L/分以上、水温30℃以下、水圧6.9×10 5Pa以下)
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