最終更新日:
2024-04-10 10:45:26.0
最大出力は３０００Ｗで、プラズマ放電用の低リップルな出力を実現したマイクロ波電源
本製品は、周波数２４５０ＭＨｚのマイクロ波を発生する装置で、高電圧発生電源/マグネトロン発振部/接続ケーブルによって構成されます。最大出力は３０００Ｗで、プラズマ放電用の低リップルな出力を実現しています。
検波器付き方向性結合器との組み合わせによって、フィードバック制御による安定したマイクロ波発振を実現します。
完全水冷式。
基本情報
■主な特長
・高効率なインバータ式。
・高電圧発生装置とマグネトロン発振部はセパレート。
・低リップルな出力電力。
・完全水冷。空気の吸排気が無いので粉塵環境に強い。
・静音。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MPS-30W-DC |
| 用途／実績例 | 大手半導体装置メーカーや電子デバイスメーカーなど |
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