インライン型膜厚計の分析例について紹介します。
膜厚の管理は製品の信頼性を左右するだけでなく原材料の削減にも貢献します。可搬型蛍光X線分析装置「OURSTEX100FA」は工場の製造工程で膜厚の分析を行うことが可能です。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【特徴】
今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、
○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで
補正が可能であることがわかりました。
○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と
高感度で得られました。
○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で
測定することが可能でした。
○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。
○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、
○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで
補正が可能であることがわかりました。
○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と
高感度で得られました。
○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で
測定することが可能でした。
○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。
○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。
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