【主な仕様】
■テーブルサイズ:160mm×200mm
■移動長さ最大:400mm
■最大ペイロード:10kg
■非接触完全プリロード空気ベアリング
■アイアンレス コギングフリー リニアモーター
■内蔵光学リニアエンコーダー
■最大分解能:1nm
■最大速度:1m/sec
■最大加速度:3g
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■テーブルサイズ:160mm×200mm
■移動長さ最大:400mm
■最大ペイロード:10kg
■非接触完全プリロード空気ベアリング
■アイアンレス コギングフリー リニアモーター
■内蔵光学リニアエンコーダー
■最大分解能:1nm
■最大速度:1m/sec
■最大加速度:3g
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。