最終更新日:
2022-10-28 14:50:48.0
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング
および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。
これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、
製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。
エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、
「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。
【特長】
■非接触完全プリロード空気ベアリング
■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
■クリーンルームに対応
■カスタマイズ可能
■内蔵光学リニアエンコーダー
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■テーブルサイズ：160mm×200mm
■移動長さ最大：400mm
■最大ペイロード：10kg
■非接触完全プリロード空気ベアリング
■アイアンレス コギングフリー リニアモーター
■内蔵光学リニアエンコーダー
■最大分解能：1nm
■最大速度：1m/sec
■最大加速度：3g
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■計測、光学アライメント、半導体、フラットパネルディスプレイ、高精度スキャニング ■クリーンルームでの使用 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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