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PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』

最終更新日: 2019-12-26 14:50:35.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』
PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』 製品画像
【技術データ(抜粋)】
■トラベルレンジ:102×102mm
■内蔵センサ:Incremental linear encoder
■設計分解能:0.001μm
■センサ信号:Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period
■リファレンスリミットスイッチ:光学式
■ガイド:Recirculating ball bearing
■モータタイプ:アイロンレス3相リニアモータ

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