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PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』

最終更新日: 2022-11-24 11:12:01.0
高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ!一方向再現性は0.1μmです

『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、
150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。

移動範囲は、102 mm×102 mm(4 ")。
速度は、500 mm/sです。

リファレンスリミットスイッチは光学式です。

【特長】
■移動範囲:102 mm×102 mm(4 ")
■150x150mmの大きな開口部
■一方向再現性:0.1μm
■速度:500 mm/s
■三相リニアモータ
■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【技術データ(抜粋)】
■トラベルレンジ:102×102mm
■内蔵センサ:Incremental linear encoder
■設計分解能:0.001μm
■センサ信号:Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period
■リファレンスリミットスイッチ:光学式
■ガイド:Recirculating ball bearing
■モータタイプ:アイロンレス3相リニアモータ

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【応用分野】
■医療産業
■レーザー切断
■スキャニング
■バイオテクノロジー
■計測学
■AOI(自動光学検査)
■顕微鏡検査

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