『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、
150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。
移動範囲は、102 mm×102 mm(4 ")。
速度は、500 mm/sです。
リファレンスリミットスイッチは光学式です。
【特長】
■移動範囲:102 mm×102 mm(4 ")
■150x150mmの大きな開口部
■一方向再現性:0.1μm
■速度:500 mm/s
■三相リニアモータ
■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【技術データ(抜粋)】
■トラベルレンジ:102×102mm
■内蔵センサ:Incremental linear encoder
■設計分解能:0.001μm
■センサ信号:Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period
■リファレンスリミットスイッチ:光学式
■ガイド:Recirculating ball bearing
■モータタイプ:アイロンレス3相リニアモータ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例 | 【応用分野】 ■医療産業 ■レーザー切断 ■スキャニング ■バイオテクノロジー ■計測学 ■AOI(自動光学検査) ■顕微鏡検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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