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大開口 エアベアリング回転ステージ A-68x

最終更新日: 2021-04-18 14:33:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:08042020
A-68x型 エアベアリング回転ステージは、薄型で大開口部を持ち、移動精度、平面度、wobble性能が高いです。
・直径 365 mm モーションプラットフォーム
・開口直径 260 mm
・ロープロファイル
・偏芯とフラットネス < 300 nm
・耐荷重 770N
・インクリメンタル/アブソリュートエンコーダー
・最高速度:500rpm

関連情報

A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ
A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ 製品画像
動作範囲:> 360°
駆動面の直径:365mm
開口:260mm
偏芯:300nm
平坦度:175nm
Wobble:1μrad
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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