最終更新日:
2024-10-10 13:54:55.0
薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な
メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。
そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、
高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。
・大開口：260mm、厚さ：113mmの薄型タイプ
・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報
動作範囲：> 360°
駆動面の直径：365mm
開口：260mm
偏芯：300nm
平坦度：175nm
Wobble：1μrad
内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート
最大速度：500rpm
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | A-688型 |
| 用途／実績例 | ・トモグラフィー ・ビームラインシステム ・高精度計測＆検査 ・超精密計測装置 ・校正 ・XCTスキャニング |
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