システム駆動軸:9軸
<ヘキサポッドラフポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ=±10, ±10, ±21度
最小移動量:XY=0.1µm、Z=0.05µm
ロータリーエンコーダ
<ピエゾファインポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=100µm
最小移動量:2.5nm
内蔵センサー
<システム専用コントローラ>
C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ&ソフトウェア
E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
<ヘキサポッドラフポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ=±10, ±10, ±21度
最小移動量:XY=0.1µm、Z=0.05µm
ロータリーエンコーダ
<ピエゾファインポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=100µm
最小移動量:2.5nm
内蔵センサー
<システム専用コントローラ>
C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ&ソフトウェア
E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。