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光学系高精度ヘキサポッドアライメントシステム F-712.HU1

最終更新日: 2022-11-24 14:01:19.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

高速フォトニクスアライメントシステム F-712.HU1型 
高速フォトニクスアライメントシステム F-712.HU1型  製品画像
システム駆動軸:9軸

<ヘキサポッドラフポジショニング>
 トラベルレンジ: X, Y, Z=±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ=±10, ±10, ±21度
 最小移動量:XY=0.1µm、Z=0.05µm
 ロータリーエンコーダ
<ピエゾファインポジショニング>
 トラベルレンジ: X, Y, Z=100µm
 最小移動量:2.5nm
 内蔵センサー

<システム専用コントローラ>
 C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ&ソフトウェア
 E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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