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高速フォトニクスアライメントシステム F-712.HU1型 

最終更新日: 2024-10-10 13:54:55.0
最先端アライメントに最適! 多軸&高速&高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム!

<高速&高精度駆動>
この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。

※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。
※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。

<高解像度アナログ信号入力>
コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。

<ピボットポイントの任意設定>
システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。

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基本情報

システム駆動軸:9軸

<ヘキサポッドラフポジショニング>
 トラベルレンジ: X, Y, Z=±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ=±10, ±10, ±21度
 最小移動量:XY=0.1µm、Z=0.05µm
 ロータリーエンコーダ
<ピエゾファインポジショニング>
 トラベルレンジ: X, Y, Z=100µm
 最小移動量:2.5nm
 内蔵センサー

<システム専用コントローラ>
 C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ&ソフトウェア
 E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 F-712.HU1型 ドイツ Physik Instrumente社製
用途/実績例 ・シリコンフォトニクスアライメント&組立て
・光ファイバーアライメント&組立て
・微小部品アライメント&組立て
・光学部品アライメント
・光学部品試験
・各種計測

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