<高速&高精度駆動>
この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。
※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。
※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。
<高解像度アナログ信号入力>
コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。
<ピボットポイントの任意設定>
システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。
基本情報
システム駆動軸:9軸
<ヘキサポッドラフポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ=±10, ±10, ±21度
最小移動量:XY=0.1µm、Z=0.05µm
ロータリーエンコーダ
<ピエゾファインポジショニング>
トラベルレンジ: X, Y, Z=100µm
最小移動量:2.5nm
内蔵センサー
<システム専用コントローラ>
C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ&ソフトウェア
E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | F-712.HU1型 ドイツ Physik Instrumente社製 |
用途/実績例 | ・シリコンフォトニクスアライメント&組立て ・光ファイバーアライメント&組立て ・微小部品アライメント&組立て ・光学部品アライメント ・光学部品試験 ・各種計測 |
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