![PIHeraピエゾリニアステージP-620.1~P-629.1 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/187/2000032185/IPROS54383321788353726036.jpeg?w=140&h=140)
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ストローク50~1800μmと長いコンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50~1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
・ストローク50~1800μm
・高精度、低コスト
・0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%の位置決め精度
・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン
・真空対応バージョンも用意
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
ピーアイ・ジャパン株式会社 本社