最終更新日:
2024-10-10 13:54:54.0
ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50～1800μm
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○ストローク50～1800μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
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基本情報
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| 型番・ブランド名 | PIHera(R)ピエゾリニアステージ P-620.1～P-629.1 |
| 用途／実績例 | 応用例 ・干渉計 ・顕微鏡による検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術 |
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