最終更新日:
2023-07-13 11:17:45.0
教育機関や小規模施設などに!タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな
卓上タイプエッチング・成膜装置です。
設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の
導入をご検討されている方にお勧め。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■装置最大サイズ 80cmx80cmx80cm(高さ)
■タッチパネルで簡単操作
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(一部)】
■PECVD装置
・SiN3膜形成
・SiO2膜形成
・サンプルサイズ最大240mm
■スパッタ装置
・金属膜
・有機膜
・サンプルサイズ最大150mm
■反応性イオンエッチング装置
・表面処理
・故障解析
・サンプルサイズ最大200mm
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■反応性イオンエッチング(RIE)、プラズマ成膜(PECVD)、スパッタ蒸着 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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