プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

最終更新日: 2023-07-13 11:17:45.0
教育機関や小規模施設などに!タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム

『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな
卓上タイプエッチング・成膜装置です。

設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の
導入をご検討されている方にお勧め。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■装置最大サイズ 80cmx80cmx80cm(高さ)
■タッチパネルで簡単操作

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(一部)】
■PECVD装置
・SiN3膜形成
・SiO2膜形成
・サンプルサイズ最大240mm
■スパッタ装置
・金属膜
・有機膜
・サンプルサイズ最大150mm
■反応性イオンエッチング装置
・表面処理
・故障解析
・サンプルサイズ最大200mm

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■反応性イオンエッチング(RIE)、プラズマ成膜(PECVD)、スパッタ蒸着

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