プレシテック・ジャパン株式会社が取り扱う
『CHRocodile 2IT DW1000』をご紹介します。
光源は、NIR SLD。
測定レンジは、80um~8200um(n=1),20um~2000um(n=3.7)です。
また、5軸エンコーダーが付いています。
【製品スペック】
■光源:NIR SLD
■測定レンジ:80um~8200um(n=1),20um~2000um(n=3.7)
■外部トリガー、同期IO
■5軸エンコーダー付
■Ethernet, RS422
■アナログI出力付
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ドープウェハー各種測定結果】
■Dopped wafer
・P-(1-150Ω・cm)
・N-(1-200Ω・cm)
・P+(0.01-0.02Ω・cm)
・P++(0.005-0.01Ω・cm)980μmは除く
■Note:スラリーは測定時に光ピークのシグナル影響あり
■スラリー0.6mm~1.5mm厚みにおいて、215-545um(p++)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、半導体ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、ドープウエハ、不純物ウエハ、GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
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