プレCMPスラリーULTRA-SOL STD0.5μ20MCHは、高品質のダイヤモンド粒子をシリカにブレンドした中性pHの水性スラリーです。CMPの前に使用することで、サファイア、SiC、窒化ケイ素などの難加工材料のCMPのプロセス時間を短縮可能です。
【ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHの製品のご紹介を公開中】
ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHでのSiCの評価例などをまとめた資料を作成しました。詳しくはページ下部のカタログをご覧ください!
※プレCPMスラリーとは、コロイダルシリカに単結晶ダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現します。仕上げCMPの前に使用することで、プロセス時間を大幅に短縮します。
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ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHでのSiCの評価例などをまとめた資料を作成しました。詳しくはページ下部のカタログをご覧ください!
※プレCPMスラリーとは、コロイダルシリカに単結晶ダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現します。仕上げCMPの前に使用することで、プロセス時間を大幅に短縮します。