最終更新日:
2024-03-12 11:55:50.0
柔よく剛を制す！シリカにダイヤモンドをブレンドした硬質基板研磨用スラリー。CMPの前の使用することでプロセス時間を短縮します。
サファイア、SiC、窒化ケイ素など、硬質材料の研磨におすすめのプレCPMスラリーです。CMPの前に使用することで、CMPのプロセス時間を短縮可能です。
【このような場合におすすめです】
■CMPのプロセス時間を短縮したい方
■微細スクラッチ等の除去を効率化されたい方
■過マンガン酸カリウムスラリーの負荷を低減されたい方
※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
基本情報
プレCMPスラリーULTRA-SOL STD0.5μ20MCHは、高品質のダイヤモンド粒子をシリカにブレンドした中性ｐHの水性スラリーです。CMPの前に使用することで、サファイア、SiC、窒化ケイ素などの難加工材料のCMPのプロセス時間を短縮可能です。
【ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHの製品のご紹介を公開中】
ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHでのSiCの評価例などをまとめた資料を作成しました。詳しくはページ下部のカタログをご覧ください！
※プレCPMスラリーとは、コロイダルシリカに単結晶ダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現します。仕上げCMPの前に使用することで、プロセス時間を大幅に短縮します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | SiCやサファイアなどの硬質材料の研磨 |
お問い合わせ
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