![SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/b33/2000638739/IPROS38662456226504503580.png?w=100&h=100)
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両面位置精度測定器 DSM8Gen2
DSM8/200 Gen2は2~8インチウェハに対応した両面位置測定装置です。
TIS(装置起因誤差)を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。
TIS(装置起因誤差)を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。
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